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Carbon film deposition by powerful ion beams
Ryabchikov A.I.
,
Petrov A.V.
,
Polkovnikova N.M.
,
Struts V.K.
,
Usov Yu.P.
,
Arfyev V.P
deposition
substrate
c60
c70
coatings
rate
amorphous
sample
diamond
samples
crystalline
density
plasma
xrd
coating
distance
films
nanohardness
ryabchikov
target
ablation
decrease
fullerenes
targets
xxx
analysis
beams
cm3
composition
obtained
ratio
technol
dτs
generated
graphite
graphitic
microdiffraction
pulse
surface
concentrations
j.surfcoat
presents
shown
silicon
temperature
cite
fullerene
heating
increase
measured
Langue:
english
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0
/
0
english
2
Углеродная пленка осажденная мощным ионным пучком
Ryabchikov A.I.
,
Petrov A.V.
,
Polkovnikova N.M.
,
Struts V.K.
,
Usov Yu.P.
,
Arfyev V.P
осаждения
c60
c70
пленки
углерода
рис
фазы
мишени
рса
скорости
плазмы
подложки
фуллеренов
образцов
покрытий
высокой
концентрация
покрытия
bookmark5
см3
dτs
аморфного
группы
импульс
использованием
кристаллической
образца
плотности
получения
результаты
составе
углеродные
russia
алмазоподобной
ионным
мишеней
мощным
нанотвердость
образцах
пленках
показано
пучком
расстоянии
скорость
тонких
увеличением
углеродной
углеродных
a.v
sample
Langue:
russian
Fichier:
DOC, 4.32 MB
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/
0
russian
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