Природа невоспроизводимости структуры и свойств материалов для микро- и наноэлектроники. Учебное пособие

В учебном пособии изложены аспекты теории сложных систем и самоорганизации применительно к технологиям материалов для микро- и наноэлектроники. Обоснованы новые методы устранения существующих проблем современного материаловедения. Подготовлено в соответствии с требованиями Федерального государственного образовательного стандарта высшего образования. Предназначено для изучения дисциплины «Электроника» по направлению подготовки высшего образования 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника». Кроме того, учебное пособие будет полезно студентам и аспирантам инженерно-технических специальностей и направлений, изучающих данную дисциплину.