Физика полупроводниковых приборов

Рассмотрены физические принципы работы наиболее важных кассов современных полупроводниковых приборов: диодов, бполярных и олевых транзисторов, СВЧ приборов с отрицательными дифференциальными сопротивлением (диодов Ганна, лавинно-пролетных и инжекционно-пролетных диодов), приборов с зарядовой связью, оптоэлектронных приборов (фотоприемников, светодиодов, инжекционных лазеров и др.). Выведены основные теоретические соотношеия, определяющие характеристики этих приборов. Большое внимание удалено описанию особенностей современных быстродействующих приборов с субмикронными и нанометровыми размрами, в том числе приборов, в работе которых используются гетеропереходы, квантовые ямы и квантовые точки. Помимо этого. в книге рассмотрены основы планарной технологии, описаны возникшие в последнее время технологические проблемы и указаны перспективные пути их решения.